在半导体行业、光伏产业、平板显示器行业、材料化工、科研实验室等领域适用。满足广泛的工艺需求：等离子体清洗、等离子体刻 蚀、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、反应溅射、射频离子源等。
● 机柜安装方式标准设计;
● 采用全数字控制，操控友好直观；
● 进线配置APFC，输入侧功率因数高，谐波低，
● 功放和直流控制模块匹配稳定；
● 输出额定功率的驻波极低；
● 支持通用标准的相位调节；
● 支持可编程模拟量输出
● 保护功能完善响应极快
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